石墨舟的工作原理是什么
作者：http://www.szxrw.com
發布時間：2022-02-16 10:34:36
石墨舟工作原理：
空氣通過高效過濾后，阻尼層均壓，使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片工作區，從而保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點：
1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位；
2、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度；
3、采用不銹鋼制造，整機結構堅固可靠;
4、凈化風機噪音小于50dB。
5、采用GK系列高效空氣過濾器3只；
6、保證了工作區內達到工藝要求的潔凈度100級。
石墨舟裝片房：用于太陽能行業與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高效過濾器，確保吹出的空氣達到凈化要求。